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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为89英寸晶圆生产的线智能化的超蒸馏水系统性,一天造成含硅废水工作方法150吨。废水工作方法中虽无天价属,但硅分子量高易水垢,且电阻值率需符合18MΩ·cm就要造纸废水工作。原本工作方法没有办法考虑新颁布法律的《电子元器件工业生产水的工业废气污染物口规格》(GB39731-2020)特点污染物口卫生防护距离。 废水处理成分表特性 注意污染源物 :固体硅(200-300mg/L)、颗料硅(比表面积0.1-1μm) 特定耍求 :TOC<10μg/L,硼硫含量<5μg/L 饮用水性能特点 :低水的电导率(<50μS/cm)但硅有机物特征复杂性 治理艺程序流程 的创新应用"梯级膜剥离 +电去阴阳离子"组和生产工艺: 微滤预清理 :1μm工业陶瓷膜短信拦截大小粒硅,通量保护80LMH 铝离子交換树脂材料 :D201大孔硅胶粘合剂选定 性降解硅酸原子核 二次元RO装置 :第1 段出售率60%,然后段按照高脱硼膜元器件封装 EDI电去阴离子 :感应电流硬度2A/m²,快速避开残余物阴离子 分光光度计除臭 :254nm紫外线灯线药量40mJ/cm² 科技工作亮点 研发常用阻硅剂(有机酸胺类复合型物),延长时间膜严重污染时间间隔3倍 EDI接口企业创新流道构思,硅彻底清除率提高至99.8% 同屏在线硅研究仪(测定範圍0.1-500μg/L)实行精淮操控 启用初步成效 经第三个方论文检测: 总硅从280mg/L降下来0.05mg/L 硼水分含量从8μg/L降低0.3μg/L 系统软件回收处理率从原40%改善至68% 膜修改的周期延长至至5年,年运作价格降低35%

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