该厂为89英寸晶圆生产的线智能化的超蒸馏水系统性,一天造成含硅废水工作方法150吨。废水工作方法中虽无天价属,但硅分子量高易水垢,且电阻值率需符合18MΩ·cm就要造纸废水工作。原本工作方法没有办法考虑新颁布法律的《电子元器件工业生产水的工业废气污染物口规格》(GB39731-2020)特点污染物口卫生防护距离。
废水处理成分表特性
注意污染源物
:固体硅(200-300mg/L)、颗料硅(比表面积0.1-1μm)
特定耍求
:TOC<10μg/L,硼硫含量<5μg/L
饮用水性能特点
:低水的电导率(<50μS/cm)但硅有机物特征复杂性
治理艺程序流程
的创新应用"梯级膜剥离 +电去阴阳离子"组和生产工艺:
微滤预清理
:1μm工业陶瓷膜短信拦截大小粒硅,通量保护80LMH
铝离子交換树脂材料
:D201大孔硅胶粘合剂选定 性降解硅酸原子核
二次元RO装置
:第1 段出售率60%,然后段按照高脱硼膜元器件封装
EDI电去阴离子
:感应电流硬度2A/m²,快速避开残余物阴离子
分光光度计除臭
:254nm紫外线灯线药量40mJ/cm²
科技工作亮点
研发常用阻硅剂(有机酸胺类复合型物),延长时间膜严重污染时间间隔3倍
EDI接口企业创新流道构思,硅彻底清除率提高至99.8%
同屏在线硅研究仪(测定範圍0.1-500μg/L)实行精淮操控
启用初步成效
经第三个方论文检测:
总硅从280mg/L降下来0.05mg/L
硼水分含量从8μg/L降低0.3μg/L
系统软件回收处理率从原40%改善至68%
膜修改的周期延长至至5年,年运作价格降低35%