东莞某半导体设备IC芯片生产鑫霖环保厂，晶圆鑫霖环保时候中呈现含硅、氟的个性化生产生活污水，设计补救的规模1200吨/日。生产生活污水材料繁琐，具有nm级硅科粒及氢氧化钠，过去的补救技巧易于达到。 废液营养成分及源头 主要空气废弃物 ：橡胶胶体部分硅（100-500nm粒度）、氟阳离子（200-300mg/L）、异丙醇 的来源工作 ：晶圆刻蚀生活污水（45%）、CMP生物学自动化机械打蜡 生活污水（40%）、环保设备消毒水（15%） 进行处理的工艺程序流程 系统创新用"生物悠长岁月中+特种车辆膜分离法"系统自驾线路： 钙盐沉淀自己 ：加药系统氯化钙出掉氟铁离子（导出CaF2悠长岁月中） 水解酸化池化学反应 ：符合斜管沉淀池剂保证 溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm孔直径膜虚报冒领微细颗料 反加入系统化 ：脱盐率>98%，回笼率75% 挥发晶粒 ：浓水段完成氟化物零直接排放 以后体验 氟化物氧浓度：<8mg/L（降到中国七级规则10mg/L） 硅占比：<5mg/L 水成本回收率：70%应用在急冷塔补充水分 危险废物减轻：蒸馏残余物量较经典制作工艺缩减60%